Solution de capteur pour le contrôle du processus de meulage de plaquettes

L'amincissement des tranches est toujours un processus critique. Les puces sont déjà présentes sur la plaquette et toute défaillance du processus affecte le rendement et les coûts de production. Un contrôle en ligne serré sur l'opération de dilution en cours est possible à l'aide de jauges de contact ou de capteurs sans contact, même en présence d'eau DI. Les capteurs Marposs permettent d'obtenir une épaisseur finale répétitive du wafer.

L'opération d'amincissement s'effectue généralement en deux étapes : meulage grossier et meulage de finition. Le premier est utilisé pour éliminer la majeure partie de la quantité de silicium pendant l'opération de finition, seule une petite quantité est retirée jusqu'à ce que l'épaisseur finale souhaitée, normalement inférieure à 100 µm, soit atteinte. La jauge de contact Marposs contrôle la phase d'amincissement grossier et, grâce à sa conception robuste, peut survivre dans l'eau DI sans ajouter de contaminants indésirables qui pourraient être dangereux pour la tranche.

Il en va de même pour la série de jauges sans contact Marposs qui sont particulièrement utiles dans la phase de finition où une attention particulière doit être portée afin de ne pas endommager la plaquette. La mesure sans contact n'est pas facile dans l'environnement sale et humide d'une rectifieuse arrière, cependant, grâce à la jauge Marposs, cela est possible, presque indépendamment de la rugosité de la plaquette et du type de matériau à amincir.

En plus de s'assurer que les niveaux de productivité sont atteints, il est crucial de maintenir l'équipement de production en service grâce à des alarmes « préventives » à l'aide des produits Marposs Machine Monitoring. Il est possible de surveiller le dressage des meules et d'autres vibrations dans la machine pour s'assurer que la machine fonctionne correctement.

La détection précoce des problèmes mécaniques est essentielle pour contrôler les vibrations de la machine et de la broche, réduire les coûts consécutifs, améliorer la qualité et l'efficacité. Ceci peut être réalisé grâce à l'évaluation précise des signaux des capteurs (vibration, température et éventuellement gravité). Les limites d'alarme peuvent être définies individuellement et si elles dépassent ou descendent en dessous de ces limites, une réaction définie peut être prise rapidement.

Marposs propose une gamme complète de produits permettant de garder sous contrôle les machines travaillant les matériaux semi-conducteurs.

Pour plus d'informations : https://www.marposs.com/eng/

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